羅茨真空泵一般分成兩大類(lèi),一類(lèi)為干式羅茨泵,一類(lèi)為濕式羅茨泵。濕式羅茨泵不配前級(jí)泵,而干式羅茨泵則需要配前級(jí)泵組成機(jī)組。所以,在談到運(yùn)行時(shí),必然要聯(lián)系到羅茨泵機(jī)組。
組成羅茨泵機(jī)組,羅茨泵與前級(jí)泵的抽速比的選擇是很重要的。如前所述,羅茨泵的壓縮比很有限。當(dāng)入口壓強(qiáng)在100Torr一直到大氣壓時(shí),壓縮比為2.15;當(dāng)入口壓強(qiáng)為10的負(fù)一次方Torr,壓縮比可達(dá)40。
在考慮機(jī)組組成時(shí),首先要考慮羅茨泵入口壓強(qiáng)范圍,假設(shè)是10Torr,可知最大容許壓縮比為8。這一壓縮比決定若前級(jí)泵的容量,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2?10內(nèi)選取。
另外,應(yīng)當(dāng)考慮對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求。真空設(shè)備是作為輔助設(shè)備應(yīng)用于各種機(jī)械設(shè)備中的,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng),可選較小的前級(jí)泵(壓縮比可大些)•假若真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就用較大的前級(jí)泵。有時(shí)為了更好地發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組前裝有一臺(tái)較大的預(yù)抽泵,工作正常后再關(guān)掉它。h d F J 1 1 . C OM
為了提高真空度,有時(shí)把兩個(gè)羅茨泵串聯(lián)使用,選二者的抽速比為2?5。如果壓縮比選大了,前級(jí)泵就很小,不利于系統(tǒng)的預(yù)抽,而且當(dāng)?shù)谝患?jí)羅茨泵反壓強(qiáng)提高時(shí),容易造成第二級(jí)羅茨泵超負(fù)荷。
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